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나노포아(nano pore)를 활용한 미립자계측은 이미 알려져 있어서 파티클카운터(particle counter)로서 제품화 되어있는 것도 있다.

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그러나, 종래의 나노포아는 절연막의 막 두께가 두껍고, 이경우 이온전류 파형은 계측대상의 체적만을 반영한다. 다시말하면, 종래의 방법으로는 물질의 체적에만 근거해서 식별하는 것만 가능하다.

 

한편, 막의 두께를 얇게해서(Aspect ratio를 작게) 나노포아에 들어오는 계측 대상의 체적을 작게하면, 형상(tomography)에 의한 계측 대상의 단면 정보가 얻어지고, 이것도 전류파형에 반영된다. 또한, 계측대상의 전하 정보도 파형에 반영되는 것도 알 수 있다.

 

이처럼 나노포아에서 얻어지는 복수의 물리량(체적, 형상, 표면전하)을 해석하여, 계측
대상을 고정밀도로 식별하는 신원리의 기술이다.